芯片潔凈車間裝修工程的靜電和靜電的消除

　　(一) 靜電的危害

　　1、 靜電產生電場能擊穿電子和微電子產品造成廢品; 靜電放電產生電磁波會引起電子儀器(計算機和控制設備) 的誤動作， 放電產生火花可使感光材料曝光。

　　2、 潔凈室內靜電的帶電體， 灰塵會依附在其表面， 成為潔凈室的污染源， 影響潔凈室的潔凈度。

　　3、 潔凈室的靜電聚集放電會誘發引起火災和爆炸影響潔凈室的安全。 因為凈化車間內生產會使用大量的易燃易爆的氣體， 溶劑和有機物， 潔凈室封閉性很強， 人員疏散較困難造成火災， 損失更大。

　　(二) 靜電的起因

　　由于某種原因引起電荷移動， 正負電荷失去平衡， 這樣物體就帶有靜電， 造成電荷移動的因素主要有：

　　1、 接觸帶電： 其中還包括有磨擦帶電、 滾動帶電、 剝離帶電、 噴射帶電等。

　　2、 感應帶電

　　3、 流動帶電

　　4、 電暈帶電

　　(三) 防靜電措施

　　1、 無塵車間圍護的防靜電： 即用高導電率材料來建造潔凈室的圍護(墻、 頂、 地) 地面要采用由電阻值為 104~106 Ω 導靜電材料或電阻值為 106~109Ω 的抗靜電材料制作。 主要有良好的接地。墻和頂要采用表面電阻值為 10~10Ω 的鋁蜂窩或巖棉彩鋼板等金屬材料制作。 并要有良好的接地。

　　2、 人員的防靜電： 潔凈室的作業人員要穿防靜電的潔凈工作服， 在衣服的織物中加入金屬纖維、 碳素纖維等導電材料。 必要時作業人員手腕上配帶接地腕環。

　　3、 生產工藝允許時還可以用提高潔凈室內空氣的相對濕度的辦法來消除靜電。