無塵潔凈車間為什么要操控溫濕度?主要作用是什么,具體有什么措施?

　　無塵潔凈車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確認，在滿意加工工藝的條件下，首 選應該考慮人的舒適感。跟著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，有必要到達必定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路出產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱脹大系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性脹大，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超越25度?！穸冗^高產生的問題更多。相對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精細裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

　　然而關于大部分潔凈空間，為了避免外界污染侵入，需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的保持一般應契合以下原則：

　　1.潔凈度等級高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度等級低的空間的壓力。

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　　2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度等級高的房間。無塵潔凈車間

　　3潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

　　無塵潔凈車間壓力差的保持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理含義便是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

　　關于亂流潔凈室 由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度，所以主要用換氣次數這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內氣流速度也有如下要求;

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　　1.送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。

　　2.吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大，以免吹起外表微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

　　在我國，《空氣潔凈技術措施》和<潔凈廠房設計規范))都是這樣規則的

　　筆直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s

　　水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s