「潔凈室」是指將必定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物掃除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電操控在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不管外在之空氣條件怎么改變,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵潔凈車間潔凈室最主要之作用在于操控產品(如硅芯片等)所觸摸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個杰出之環境空間中生產、制作,此空間咱們稱之為「潔凈室」。
潔凈室控管:?能防止微塵粒子之產生;溫度和濕度之操控;有害氣體之掃除;防制靜電。
潔凈室之分類無塵潔凈車間
1.亂流式:空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。
2.層流式:水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重;筆直層流式:房間天花板徹底以ULPA過濾器掩蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所
3.復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供部分超潔凈之空氣。