硬件制造業廠房凈化 半導體車間凈化工程施工方案

 行業動態     |      2023-12-26 10:47:47

  多年來專注于凈化工程行業,對于半導體類電子硬件行業廠房凈化要求及建設方案有深入的研究分析,下面我們來全面解析鎮江硬件制造業廠房凈化之半導體車間凈化工程施工方案。

  一、項目背景及設計要求

  半導體無塵車間是某產業集團開發的筑巢引鳳項目。項目簡介僅規定了建筑規模和生產的產品類型。在設計和施工過程中沒有具體的工藝配合。從某種意義上說,它是一個通用電子廠房的設計。

  半導體生產廠房是工業建筑中的潔凈建筑。與其他工業建筑相比,其設計難度更大。在沒有具體工藝配合的情況下,對建筑設計師來說更是一個挑戰。這就需要架構師深入研究電子產品生產過程的特點和各種技術要求,了解目前國內外同類生產廠的普遍做法和發展趨勢,從中找出原理性的技術特征來指導我們的架構.設計等相關專業設計。

  2 電子潔凈廠房的技術特點

  (1)電子生產車間因生產產品對空間環境有特殊的潔凈度要求,建筑規劃剖面空間及技術措施應首先保證生產空間的潔凈度??臻g內人流、物流、設備流應凈化無塵。

  (2)半導體生產過程中的工藝流程一般不是單向的,通常會有多次交叉。像芯片生產過程中的光刻、腐蝕、擴散、蒸鍍、表面凈化等,工藝流程往復交叉頻繁。在設計方面,要求空間的潔凈度滿足各工序的生產要求。因此,國外先進的生產廠整個潔凈生產區的潔凈度等級都是按照100級設計的,個別10級區域是通過設備的方式來解決的。

  (3)電子產品更新換代快,其生產工藝和設備也在不斷更新,要求建筑空間具有一定的靈活性和可變性,以適應工藝和產品的不斷更新換代。

  (4)半導體生產雖然是流水線作業,但由于運輸量小,對工藝環節要求不是很嚴格,在建筑空間布局上可以相對自由。

  3 建設對策

  根據上述半導體生產廠的技術特點,由于其生產工藝由于具有靈活性的特點,不需要特定的技術配合就可以推進架構設計。

  建筑設計考慮場地和建筑規模因素,確定建筑為四層,其中一層、二層為潔凈生產空間及其輔助空間;三樓和四樓用于包裝、研發和管理。潔凈生產區平面為44m×13.5m的簡單長方形,四周環繞著2.1m的潔凈走廊。潔凈生產區潔凈等級全部確定為100級,潔凈走廊為10000級。這種空間布局是為了拓寬對不同生產過程的要求。適應和發展的靈活性。

  斷面空間設計采用凈高3m的預制潔凈室,頂部為技術夾層,采用上送側回凈化氣流組織,建筑層高6m .

  百級潔凈生產車間人員、物流的凈化,是潔凈室能否達到潔凈要求,能否生產出產品的關鍵。 .

  百級潔凈室的潔凈要求為:入口——換鞋——更衣——沐浴——潔凈走廊——二次沐浴——更衣潔凈——風淋室——潔凈生產區。

  100級潔凈室要求:入口-原材料入庫-粗洗-出貨窗-精洗-出貨窗-潔凈生產區-出貨窗-包裝-成品入庫。

  對于整個廠房,還存在人員不潔、物流、消防疏散等問題,必須協調解決。一個簡單的解決方案是將潔凈部分和非潔凈部分分別設置出入口,但在有限的建筑空間內設置四個出入口顯然不經濟,也不利于管理和兩者之間的必要銜接領域。詳細分析了人員和物流流程以及廠房各部分之間的關系,建筑平面采用直線布局,中間為生產區,兩端各設一個大廳。東大堂為人流入口,西大堂主要為貨物進出。同時,考慮到人員的緊急疏散出口,每個走廊都安裝了一套梯子,干凈和不干凈的人通過梯子,物流是分開的。

  為節省空間和設備管線,一樓建有空氣凈化機房和超純水處理站,潔凈空氣和純水通過工藝管線夾層送至潔凈生產區.

  為避免設備運行時因振動產生粉塵,設備間與主廠房結構采用接縫分隔,這是潔凈建筑設計所必需的。潔凈廠房的其他共性技術問題和細部結構按照我國《潔凈廠房設計規范》進行設計。

  4。結論

  目前,廠房已經投入使用,科技并未對建筑產生任何改變。本次項目的建筑設計給了我們兩點啟示:第一,每一次建筑設計都是一個深入學習和研究的過程。了解建筑的特殊要求和建筑要解決的主要問題,這是建筑師必須做的。 其次,工業建筑設計建筑師應該滿足技術的要求,但不能完全被動地依賴技術。他們在設計中應充分發揮自身的技術和藝術智慧,充分考慮人文和空間因素,讓工業建筑能夠更多地留下建筑設計的痕跡。